国立高等専門学校機構は3月23日・24日、旭川工業高等専門学校(北海道)および、佐世保工業高等専門学校(長崎県)において、全国の高専教員を対象とした半導体製造プロセス研修会を同時開催した。
それぞれ異なるアプローチで実施された研修には全国から計12人の教員が参加。実際に製造装置を動かし、半導体デバイスの設計から完成まで、自らの手で体験した。

全国51校の国立高専の教育の質を左右するのは、教える側の実践的な経験だ。半導体分野においては、大学の研究室縮小などを背景に、「半導体を実際に製造したことがある教員」が教育現場から失われつつある。知識はあっても、体で知っている教員が少ないことは、半導体人財育成における見えにくくも深刻な「ボトルネック」となる。
高専機構が推進するCOMPSS5.0事業「半導体人財育成エコシステム構想」は、この問題に正面から取り組んでおり、今回の研修は、その中核施策の一つ。全国の高専教員が製造の「指導の勘所」を体得し、それを教壇でリアルに伝えられる教育者へと成長することを目指している。

完成した半導体パッケージ
旭川工業高等専門学校(COMPASS5.0事業半導体分野ブロック拠点校)では、全国から集まった7人の教員を対象に、半導体デバイス製造の「フルプロセス体験研修」を実施した。この研修は釧路高専で開発した教材の他高専への展開のモデルケースでもある。
設計からパッケージングまで、デバイス製造の全プロセスを一貫して自分の手で経験するこの研修は、「知っている」と「できる」の間にある大きな溝を埋める機会となった。
また、本格的な設備が整っていない環境でもダイオードの作製ができる教材の紹介もあり、意見交換会では自高専への展開について熱心に話し合われた。参加した北九州高専の坪田雅功教員は次のように話す。――「教科書でしか知らなかった各工程を、実際に装置を動かして確認できたことで、学生に伝えるべき”指導の勘所”が明確になりました。今回得た知見を授業に取り入れ、より実践的で筋の通った技術者育成を目指したいと思います」。

ミニマルファブで学ぶ高専教員ら
佐世保工業高等専門学校(COMPASS5.0事業半導体分野拠点校)では、全国から5人の教員が参加、「ミニマルファブ(Minimal Fab)」技術を活用した実践研修を実施した。
ミニマルファブとは、従来の巨大な工場設備(メガファブ)とは異なり、超小型・低コストの製造装置群を用いて少量の半導体試作を短期間で実現する革新的な技術。半導体製造のハードルを大幅に下げ、「製造」を全国のどこの高専でも教育の中心に据えることを可能にする。その事実を参加教員自らの手で確かめることができた。
研修に参加した富山高専の多田和広教員は次のように話した。――「”半導体製造は時間がかかる”という固定観念が完全に覆されました。リードタイムの短さとシャトルを使った受け渡しの手軽さを実感し、たとえば佐世保高専でデバイスを作製してもらい、自校(富山高専)でその評価実験を行う、という形での学生実験の構築も十分に可能だと感じました」。